半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
產(chǎn)品概述
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH（又稱PS6AH/PS6NH）是專為半導(dǎo)體工業(yè)設(shè)計(jì)的氣體檢測(cè)設(shè)備，采用泵吸式采樣方式，可靈活安裝于各類工業(yè)環(huán)境。該系列產(chǎn)品通過模塊化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)快速傳感器更換，支持檢測(cè)多種特種氣體，包括NF3、CCl4等半導(dǎo)體工藝中常見的氣體類型。其核心特點(diǎn)是采用特氟龍材質(zhì)采樣管道（外徑6mm/內(nèi)徑4mm），配管距離可達(dá)20米（吸附性氣體為5米），并配備0-9999LED濃度顯示屏，便于現(xiàn)場(chǎng)實(shí)時(shí)監(jiān)控。257
技術(shù)原理與功能特點(diǎn)
PS-6AH型號(hào)采用定電位電解式、熱線型半導(dǎo)體式及隔膜Galvanic電池式復(fù)合檢測(cè)原理，而PS-6NH專為NF3和CCl4設(shè)計(jì)，采用熱分解與定電位電解式技術(shù)。產(chǎn)品內(nèi)置雙段報(bào)警功能（開路集電極OFF輸出），支持故障自診斷和流量異常提示。標(biāo)準(zhǔn)4-20mA輸出信號(hào)可無縫接入各類控制系統(tǒng)，無需現(xiàn)場(chǎng)標(biāo)定即可投入使用。設(shè)備工作溫度范圍為0-40℃，采用DC24V±10%供電，功耗分別為10W（PS-6AH）和15W（PS-6NH），緊湊型設(shè)計(jì)（73×198×145mm）適合狹小空間安裝。369
應(yīng)用場(chǎng)景與操作優(yōu)勢(shì)
該系列探頭廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、特種氣體存儲(chǔ)等場(chǎng)景，其卡式傳感器設(shè)計(jì)使維護(hù)人員無需工具即可完成傳感器更換。泵吸式采樣方式配合特氟龍防腐管道，能有效應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體環(huán)境。設(shè)備提供本地濃度顯示與遠(yuǎn)程信號(hào)傳輸雙重監(jiān)測(cè)方式，用戶可通過LED屏直接讀取數(shù)據(jù)或通過電纜（KVV-P3/4芯）連接至中控系統(tǒng)。報(bào)警閾值可自定義設(shè)置，包括零抑制和線性表格調(diào)整功能，適應(yīng)不同工藝需求。1410
英文介紹（Semiconductor Special Gas Detection Probe）
The PS-6AH/PS-6NH series are pump-sampling gas detection probes specifically engineered for semiconductor manufacturing environments. Featuring a modular sensor cartridge system, these probes allow quick sensor replacement for detecting various process gases including NF3 and CCl4. The PTFE sampling tube (6mm OD/4mm ID) supports piping distances up to 20m (5m for adsorbent gases), with real-time concentration displayed on a 4-digit LED screen. 58
Equipped with multiple detection principles - galvanic cell, semiconductor and electrochemical technologies (PS-6AH) or thermal decomposition method (PS-6NH) - the probes deliver 4-20mA analog output compatible with most control systems. Dual-stage alarms with open-collector outputs and flow failure alerts enhance operational safety. The compact enclosure (73×198×145mm) operates within 0-40℃ using 24VDC power, requiring only 10-15W consumption. Field calibration is eliminated through pre-calibrated sensors, while local concentration verification and remote monitoring options provide flexible deployment. 7910
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
的詳細(xì)介紹半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH/PS6AH/PS6NH
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH
半導(dǎo)體特氣檢測(cè)探頭PS-6AH/PS-6NH特點(diǎn)：
¬ 由于是4～20mA的標(biāo)準(zhǔn)輸出,因此可接入各種測(cè)量裝置和系統(tǒng)。
¬ 由于現(xiàn)場(chǎng)有濃度顯示功能，因此可在設(shè)置現(xiàn)場(chǎng)確認(rèn)濃度。
¬ 可以設(shè)定報(bào)警水平，故障報(bào)警，零抑制或線性表格等。
¬ 檢測(cè)部有各種接點(diǎn)輸出信號(hào)
規(guī)格：
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